贺德克压力传感器膜式应变传感器简单的平膜压力传感器,应变片贴在膜片的内表面。膜片感受压力时产生应变,使应变片有一定的电阻输出。薄膜应变片是用溅射或蒸发的方法将半导体或金属敏感材料镀在弹性基片上的。优点:稳定性好、使用寿命长、灵敏度高、温度系数小、工作温度范围宽、量程大、成本低。主要成膜工艺有真空溅射和真空蒸镀。真空溅射工艺大致流程为:基片预处理、溅射介质层、溅射敏感层、蒸发Au、光刻电极、形成电桥、完成全部电连接、沉积钝化膜。另外真空蒸发工艺制作的薄膜应变片其结构同溅射应变片基本相同。

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