集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
 
        澳门太阳娱乐2138根据测量目的分类不同:物理型传感器是利用被测量物质的某些物理性质发生明显变化的特性制成的;化学型传感器是利用能把化学物质的成分、浓度等化学量转化成电学量的敏感元件制成的;生物型传感器是利用各种生物或生物物质的特性做成的,用以检测与识别生物体内化学成分的传感器。
 

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